ニューオール社製
インクリメンタルリニアエンコーダ/リニアスケール
MCG-TT型(超小型電気回路外付)

インクリメンタルリニアエンコーダ/リニアスケール MCG-TT型
  • 電気回路が分離して超小型高精度タイプで水、油に浸漬使用可能です。
  • 超小型で半導体液晶製造装置等への組込に最適です。

外形寸法

性能仕様

仕様 MCG-TT オプション
型式 電磁誘導形  
精度 ±5µm (±0.0002インチ)
分解能(μm/m) 1μm 0.1, 0.2, 0.5, 2, 5 & 10µm
分解能(インチ) 0.0005インチ 0.000005インチ
0.000001インチ
0.00002インチ
0.0001インチ
0.0002インチ
0.0005インチ
原点形式 周期位置  
原点位置 毎 5mm (0.2インチ)
最大送り速度 2m/s, 1μm分解能時  
最大加減速 10g / 98m/s2 (ヘッド移動時)  
電源 5VDC ±5% <80mA  
耐衝撃 (11ms) 100g / 980m/s2 (IEC 69-2-6)  
耐振 (55-2000Hz) 30g / 294m/s2 (IEC 68-2-27)  
保護等級 IP67 (IEC 529) - NEMA6適合 完全浸漬可  
作動時温度 0 ~ 55℃ (32 ~ 131°F)  
保管温度 -20 ~ 70℃ (-4 ~ 158°F)  
耐磁界強さ 100mT (1000 ガウス)  
放出磁界強さ 1mT以下  
断面寸法 56.2mm x 16.0mm/外径 (2.21インチ x 0.63インチ)  
スケール材質 カーボンファイバ ステンレススチール
線膨張係数 12ppm/℃ , 12×10-6 1/K  
スケール外径 5.75mm (0.2インチ)
最大スケール測定長 1000mm (39インチ)  
片持ち取付時の最大測定長 250mm (10インチ)  
スケール余裕長 178mm (7インチ) 測定長にプラスする
標準ケーブル 9芯シールド線ポリウレタン被覆  
ケーブル長 標準 0.5m (20インチ)  
最小曲げ半径 25mm (1インチ) ポリウレタン被覆  
最大ケーブル長 22m (866インチ)  
コネクター Dサブ9ピン (IP54,NEMA 3) 12ピン (IP67, NEMA 6)
EMC対応 BS EN 50081-2 & BS EN 50082-2  

TOP